Tetrametylammoniumhydroksid
Denne artikkelen mangler kildehenvisninger, og opplysningene i den kan dermed være vanskelige å verifisere. Kildeløst materiale kan bli fjernet.
| Tetrametylammoniumhydroksid | |||
|---|---|---|---|
 | |||
| Andre navn | |||
| TMAH | |||
| Identifikatorer | |||
| CAS-nummer | |||
| Kjemiske egenskaper | |||
| Formel | (CH3)4NOH | ||
| Molar masse | 91,15 g/mol | ||
| Tetthet | 1015 kg/m3 | ||
| Smeltepunkt | 67 - 70 °C | ||
| Løselighet | Svært løselig i vann | ||
| Farer | |||
| Hovedfarer | Sterk base, Giftig. | ||
| Relatert | |||
| Andre anioner | Tetrametylammoniumklorid | ||
| Andre kationer | Tetraetylammoniumhydroksid | ||
Tetrametylammoniumhydroksid (TMAH) er en kvartær ammoniumforbindelse med kjemisk formel (CH3)4NOH. Stoffet er mye brukt i halvlederindustrien til anisotrop etsing av silisium og som løsemiddel av organiske stoffer. Stoffet kommer i 3 varianter: vannfri, trihydrat og pentahydrat.
Helsefare[rediger | rediger kilde]
TMAH er en sterk base og den er etsende dersom den kommer i kontakt med huden og øynene. Stoffet kan kan lamme muskler og nerver og kan være dødelig selv i mindre doser.
Denne artikkelen er en spire. Du kan hjelpe Wikipedia ved å utvide den.