MEMS
Fra Wikipedia, den frie encyklopedi
En midd avbildet sammen med mikrotannhjul. Bildereferanse: Sandia National Laboratories, www.mems.sandia.gov
MEMS er en forkortelse for Mikro Elektro-Mekaniske Systemer (eller Micro Electro-Mechanical Systems på engelsk), på norsk benyttes også betegnelsen mikrosystemteknologi. Som navnet tilsier er dette systemer som har både elektriske og mekaniske funksjoner.
MEMS-systemer kan betraktes som en utvidelse av mikroelektronikken, slik elektronikk finnes i dag i nærmest alle elektriske apparater. I et MEMS-system kombineres elektronikken med mekaniske elementer som tynne bjelker (eng. cantilevers), mikroskopiske tannhjul, kanyler med mer. Systemet kan også kombineres med mikroskopiske væskekanaler til håndtering av væsker, som f.eks. blod eller kjemiske stoff.

