Mikroelektromekaniske systemer
Denne artikkelen mangler kildehenvisninger, og opplysningene i den kan dermed være vanskelige å verifisere. Kildeløst materiale kan bli fjernet. Helt uten kilder. (10. okt. 2015)
Mikroelektromekaniske systemer (MEMS), på norsk også mikrosystemteknologi, er mikroskopiske systemer som har både elektriske og mekaniske funksjoner. MEMS kan betraktes som en utvidelse av mikroelektronikk, som i dag finnes i nærmest alle elektriske apparater.
I mikroelektromagnetiske systemer kombineres mikroelektroniske elementer med mikroskopiske mekaniske elementer som tynne bjelker (eng. cantilevers), mikroskopiske tannhjul, kanyler med mer. MEMS kan også inneholde mikroskopiske kanaler til håndtering av væsker, som f.eks. blod eller kjemikalier.